Fundamental principles of optical lithography [کتاب لاتين]
Mack, Chris A.
| Record Identifier: | 3964 |
| Class: | .M19 2007 TK 7874 |
| Title: | Fundamental principles of optical lithography |
| Authorstatement: | Mack, Chris A. |
| Subject: | Integrated circuits--Design and construction |
| Subject: | Microlithography--Industrial applications |
| ISBN: | 9780470727 |
| Publisher: | Chichester,2007,Wiley |
| Sub Title: | the science of microfabrication |
| Publish place: | Chichester |
| Publisher: | Wiley |
| Publish Date: | 2007 |
| شماره ثبت | نسخه | جلد | بخش | مرجع | شماره بازیابی | در دست امانت | تاریخ بازگشت | ملاحظات | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 3513 | 1 | 0 |
جهت ثبت نظر با حساب کاربری تان وارد شوید