| Record Identifier: | 1818 |
| Class: | .S88 1998 TK 7871.85 |
| Title: | Plasma etching |
| Authorstatement: | Sugawara, M. |
| Subject: | Semiconductors--Etching |
| Subject: | Plasma etching |
| Publisher: | NewYork,1988,Oxford University Press |
| Sub Title: | fundamentals and applications |
| Publish place: | NewYork |
| Publisher: | Oxford University Press |
| Publish Date: | 1988 |
| شماره ثبت | نسخه | جلد | بخش | مرجع | شماره بازیابی | در دست امانت | تاریخ بازگشت | ملاحظات | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 1239 | 1 | 0 |